多级弯曲磁微梁执行器力-磁耦合宏模型

• 作者: 方玉明 李伟华 黄庆安
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多级曲折磁芯微梁执行器 力-磁耦合 宏模型 微机械
• 年，卷（期）: 2003,（z1）
• 所属期刊栏目: 科研通信
• 页码范围: 2194-2196
• 页数: 3页
• 分类号: TN402|TN405
• 字数: 2922字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2003.z1.060

摘要

本文以多级弯曲磁微梁执行器为研究对象,先采用梁的模态函数线性组合来逼近梁的变形曲线,再将求模态磁场力的积分项分段求积,最后利用磁路定律,建立了考虑力-磁耦合的非线性方程组,克服了以往的模型不能考虑力-磁耦合的缺点.方程组的复杂程度(阶数)与所取的模态阶数相关.计算结果同实验数据对比表明,模型有足够的精度,可以作为宏模型使用.