SnO2/Fe2O3双层薄膜的界面结构及其对气敏特性的影响

• 作者: 赵永生 阎大卫 马晓翠
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: SnO2/Fe2O3 双层薄膜 界面过渡层 气敏传感器
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 79-84
• 页数: 6页
• 分类号: TN340.9|O484.5
• 字数: 3796字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2003.02.003

摘要

本文给出用等离子化学气相沉积(PCVD)技术制备的SnO2/Fe2O3 双层薄膜结构的俄歇谱(AES)剖面分析、透射电镜(TEM)断面形貌和扫描电镜(SEM)表面形貌的实验研究结果.AES剖面分析和TEM断面形貌图显示在SnO2与Fe2O3 界面区有一个约35 nm 厚的过渡层存在,其质地松散.实验还发现这个界面过渡层的存在缓解了层间应力,增强了SnO2薄膜的附着力,对该双层膜的气敏特性有明显的控制作用;但当SnO2层厚大于270 nm 时,其控制作用几乎完全消失.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马晓翠	深圳大学理学院	20	99	4.0	9.0
2	赵永生	吉林大学电子工程学院	47	184	7.0	11.0
3	阎大卫	吉林大学电子工程学院	4	6	2.0	2.0