半导体生产后工序设备中的若干视觉检测与伺服系统设计技术

• 作者: 刘海明 吴忻生 戚其丰 胡跃明 袁鹏
• 来源期刊: 广东自动化与信息工程
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体生产设备 视觉检测技术 芯片 伺服系统 四连杆机构
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 7-9
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 3095字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2605.2003.01.003

摘要

针对半导体生产后工序设备中的高速高精度检测与控制问题,首先系统分析了芯片质量检测的任务,并提出了相应的视觉检测算法以及程序设计方法.其次讨论了硬件系统的设计问题,提出了送料系统的立体结构和终端执行机构的双四连杆伺服系统设计方法.从而有效地提高了设备的生产速度和灵活性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡跃明	华南理工大学自动化科学与工程学院	147	1905	22.0	37.0
2	戚其丰	华南理工大学自动化科学与工程学院	24	216	8.0	14.0
3	刘海明	华南理工大学自动化科学与工程学院	13	148	9.0	12.0
4	袁鹏	华南理工大学自动化科学与工程学院	34	419	12.0	19.0
5	吴忻生	华南理工大学自动化科学与工程学院	50	655	15.0	23.0