纳米晶粒钛膜中氦注入的剂量保持和释放规律

• 作者: 刘仲阳 刘宁 廖小东 彭述明 王培录 罗顺忠 郑思孝 龙兴贵
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 氦离子注入 纳米晶粒钛膜 保持剂量 氦释放
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 456-460
• 页数: 5页
• 分类号: TB383
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6931.2003.05.016

摘要

在室温～400 ℃范围内,用卢瑟福质子背散射技术测量了100 keV、注入剂量2.2×1018 cm-2的纳米晶粒钛膜中氦的浓度分布、不同温度下的剂量保持及其浓度释放.室温下经210 d后,氦在该纳米晶粒钛膜中的剂量保持达68%,其He-Ti原子比为52.6%;100 ℃下氦的保持剂量为室温下的89.6%,此时的He-Ti原子比为44%;400 ℃下的保持剂量为室温下的32.6%,He-Ti原子比为17.1%.同时观察到了氦的释放随温度上升呈现波浪式的变化特点.从能量稳定性观点初步探讨了纳米晶粒钛膜有效保持氦的可能机制.