铸造多晶硅铝吸杂的EBIC研究

• 作者: M.Kittler 杨德仁 阙端麟 陈君
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铸造多晶硅 铝 EBIC
• 年，卷（期）: 2003,（z1）
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: TK154
• 字数: 2613字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2003.z1.013

摘要

该文利用电子束诱生电流(EBIC)对太阳电池用铸造多晶硅材料铝扩散吸杂进行了研究.通过对铸造多晶硅中晶界、位错等缺陷不同温度EBIC图像的分析,确定了复合类型,分析了铝扩散的作用.此外,还发现奇怪的位错明衬度缺陷,分析了其产生原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨德仁	浙江大学硅材料国家重点实验室	180	1513	20.0	31.0
2	阙端麟	浙江大学硅材料国家重点实验室	72	612	13.0	20.0
3	陈君	浙江大学硅材料国家重点实验室	25	279	7.0	16.0