由集成电路成品率确定空气洁净度级别的理论方法

• 作者: 许钟麟
• 来源期刊: 暖通空调
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路 成品率 洁净度级别
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 专题研讨
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TU83
• 字数: 4406字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8501.2003.05.006

摘要

将笔者1981年提出的方法加以补充,对经典沉降公式进行了修正,得出了最低成品率的计算公式及由不同集成度的集成电路成品率求洁净度级别的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许钟麟	中国建筑科学研究院空调所	83	600	12.0	21.0