低温PVD法制备多组分超硬薄膜相组成研究

• 作者: 刘亮 司文捷 彭志坚 李文治 苗赫濯 齐龙浩
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多组分薄膜 超硬薄膜 相组成
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 热点评述
• 页码范围: 759-762
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1+|TG113.12
• 字数: 3636字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2003.05.034

摘要

回顾了多组分硬质薄膜的发展,指出了多组分薄膜低温淀积时相组成研究与预测存在的问题.对多组分硬质薄膜,包括类质同晶体系与多组分共熔体,低共熔体系、转熔体系、亚稳定固熔体与非晶固熔体,化合物,梯度薄膜,多相薄膜材料,多层薄膜和超晶格薄膜等可能的相组成与相关性质进行了讨论.对淀积速率与薄膜厚度,相组成与薄膜均质性,超晶格薄膜硬度与超晶格周期等的计算模型进行了评述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苗赫濯	清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	69	997	20.0	27.0
2	刘亮	清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	26	231	10.0	14.0
3	司文捷	清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	55	652	15.0	23.0
4	齐龙浩	清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	31	399	12.0	19.0
5	李文治	清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	9	150	6.0	9.0
6	彭志坚	清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	11	126	8.0	11.0