反应烧结碳化硅平面反射镜的光学加工

• 作者: 丰玉琴 张学军 张忠玉 牛海燕 范镝
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 反应烧结碳化硅 光学加工 面形精度 粗糙度
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 光学工艺
• 页码范围: 667-668,674
• 页数: 3页
• 分类号: TH706
• 字数: 1971字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2003.06.003

摘要

介绍了100mm口径反应烧结碳化硅平面反射镜的光学加工工艺流程.按照流程依次介绍了在粗磨成形、细磨抛光和精磨抛光过程中使用的机床、磨具和磨料以及采用的工艺参数和检测方法.介绍了在光学加工各个步骤中应注意的问题.展示了加工后反应烧结碳化硅平面反射镜的实物照片.给出了面形精度和表面粗糙度的检测结果:面形精度(95%孔径)均方根值(RMS)为0.030λ(λ=632.8nm),表面粗糙度RMS值达到了1.14nm(测量区域大小为603.6μm×448.4μm).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张学军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心	124	1634	25.0	33.0
2	张忠玉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心	23	386	11.0	19.0
3	范镝	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心	16	148	6.0	12.0
4	牛海燕	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心	5	134	4.0	5.0
5	丰玉琴	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心	3	92	3.0	3.0