PTH化学沉铜的稳定性

• 作者: 翁毅志
• 来源期刊: 印制电路信息
• 学科: 工学
• 关键词: 化学沉铜 沉铜速率 药水浓度
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 孔化与电镀
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: TN4
• 字数: 3397字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0096.2003.06.007

摘要

本文就在不同的化学沉铜条件下的沉铜厚度作了探讨,并提出了如何保证沉铜厚度的稳定性和合理的工艺参数.