一种提高压印光刻软模复制精度的方法

• 作者: 卢凤兰 李涤尘 王立永
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路 压印光刻 硅橡胶 压印模具
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 工艺·设备·材料
• 页码范围: 627-628,631
• 页数: 3页
• 分类号: TG76
• 字数: 2598字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2003.04.037

摘要

由于传统的光刻生产工艺有透镜光学极限性,压印光刻为集成电路的生产提供了一种新思路.在压印光刻中,模具的制造是重点.为了获得高精度的压印模具,在实验中着重从模具材料的选择、固化剂的添加量、真空压力大小、固化温度、固化时间等方面进行分析和研究.采用正交实验方式和数理方差分析,通过检测压印模具的平整度、一致性、特征尺寸及模具表面的固化收缩率等参数的变化,特别是模具的特征尺寸变化,得到了压印模具制作的最佳工艺组合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李涤尘	西安交通大学先进制造技术研究所	322	3761	29.0	47.0
2	王立永	西安交通大学先进制造技术研究所	15	595	9.0	15.0
3	卢凤兰	西安交通大学先进制造技术研究所	7	124	4.0	7.0