BCCD器件解析物理模型与仿真研究

• 作者: 于奇 孙杰 杨谟华 梅丁蕾 熊平 王颖
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: BCCD 解析模型 模拟仿真 电荷容量 转移效率
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TN386.5
• 字数: 2529字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2004.01.002

摘要

基于半导体图像传感器CCD的物理图像和相应的基本特性微分方程组,经过离散和线性化处理,并引用解三对角矩阵方程的递归算法,实现了其解析模型求解.据此及其相关的编程软件,对电注入埋沟CCD器件进行了仿真测试.结果表明,随着栅长减小、栅间隙长度增加和沟道深度减小,传输栅电荷容量约从6.5×106下降到6.1×106电子电荷,转移效率从96%增高到99%.同时,暗电流只与少子寿命密切相关,转移效率对栅间隙长度在1 μm以内的变化不敏感.该理论模拟结果有助于BCCD模型参数提取和设计研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于奇		50	252	8.0	13.0
2	王颖		8	30	3.0	5.0
3	熊平		21	434	5.0	20.0
4	孙杰		8	34	4.0	5.0
5	梅丁蕾		5	20	3.0	4.0
6	杨谟华		58	278	8.0	11.0