自敏感式SFM的研发及其在微小垂直面无损测量中的应用

• 作者: 前田龙太郎 单学传 小林健 张国雄
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 自敏感悬臂 扫描原子力显微镜 无损测量 微镜 微模
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 32-37
• 页数: 6页
• 分类号: TN0
• 字数: 370字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2004.01.007

摘要

介绍了一种新颖的扫描原子力显微(SFM)方法,它可用于微机械垂直面的无损测量,这是惯用的SFM和其他测量仪器无法实现的.除操作灵活外,本方法使用自敏感微小悬臂结构确定其自身的偏移.因此,这使得测量微小垂直镜面的反射面以及微模插入物内壁等微结构的特征时可以精确定位.本方法已成功地应用于测量微模长方形腔体的内壁和热压聚合物微镜的反射面,该微镜的尺寸是500 μm(长)×100 μm(宽)×200 μm(高).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国雄	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	267	3932	30.0	48.0
2	单学传		3	8	2.0	2.0
3	前田龙太郎		1	0	0.0	0.0
4	小林健		1	0	0.0	0.0