MEMS微推进技术的研究

• 作者: 任大海 尤政 张高飞
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微推进器 MEMS推进 微型卫星
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 98-105
• 页数: 8页
• 分类号: TN402
• 字数: 5147字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2004.02.005

摘要

空间推进器是卫星的姿态控制及轨道的修正、保持和机动的重要执行元件.随着小卫星、微卫星、纳卫星、皮卫星和星座及编队飞行技术的出现,对空间推进技术提出了更高的要求.在综述国内外微推进技术的基础上,着重介绍研制的微型数字式MEMS阵列推进器的总体结构设计、推进剂的选择与性能研究、推进阵列的MEMS加工和封装工艺研究等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尤政	清华大学精密仪器与机械学系微光机电集成技术研究室	175	1605	21.0	32.0
2	张高飞	清华大学精密仪器与机械学系微光机电集成技术研究室	34	356	11.0	18.0
3	任大海	清华大学精密仪器与机械学系微光机电集成技术研究室	25	422	10.0	20.0