ZnMgO薄膜的等离子体辅助分子束外延生长及其Mg组分分析

• 作者: 井上正崇 佐佐诚彦 小池一步 尾形健一 延凤平 矢野满明 简水生
• 来源期刊: 中国科学E辑
• 学科: 工学
• 关键词: ZnMgO 薄膜 Mg组分 分子束外延(MBE)
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 261-267
• 页数: 7页
• 分类号: TN3
• 字数: 2798字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1006-9275.2004.03.003

摘要

利用电感耦合等离子体(ICP)及电子束探针微分析(EPMA)装置对等离子体辅助的分子束外延(MBE)法在蓝宝石衬底上生长的Zn1-xMgxO薄膜的Mg组分进行了测试.经理论分析,导出适合于生长过程中Zn过剩和Zn不足两种情况下进行Mg组分分析的理论模型.进一步针对Zn过剩的生长条件,得出表示薄膜的Mg组分与薄膜生长过程中Mg坩埚温度之间关系的数学表达式,并通过实验测试验证了这一表达式的正确性.