用等离子体辅助分子束外延生长氧化锌单晶薄膜

• 作者: 刘益春 吕有明 张吉英 李炳辉 梁红伟 申德振 范希武 范景田 赵东旭 颜建锋
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锌单晶薄膜 射频等离子体 分子束外延 蓝宝石衬底
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 147-150
• 页数: 4页
• 分类号: O471
• 字数: 1602字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2004.02.008

摘要

利用等离子体辅助分子束外延(P-MBE)方法,通过优化生长条件,在c平面蓝宝石(Al2O3)上生长出氧化锌(ZnO)单晶薄膜.使用反射式高能衍射仪(RHEED)原位监测到样品表面十分平整,X射线摇摆曲线(XRC)测得ZnO薄膜的<002>取向半峰全宽为0.20° ,证实为ZnO单晶薄膜.室温下吸收谱(ABS)和光致发光(PL)谱显示了较强的激子吸收和发射,且无深能级(DL)发光.电学性能测量表明,生长的ZnO为n型半导体,室温下载流子浓度为7×1016cm-3,与体单晶ZnO中的载流子浓度相当.