CVD金刚石薄膜基体材料的选择

• 作者: 方莉俐
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 基体材料 CVD
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 50-51
• 页数: 2页
• 分类号: TB43|TQ164
• 字数: 2119字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2004.03.015

摘要

论述了CVD金刚石薄膜基体材料的性质,给出了选择金刚石薄膜基体材料的方法,并对各种材料的膜基结合力情况作了简要评述.