低镜面反射纳米硅镀膜玻璃制备及拉曼光谱表征

• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 拉曼谱 镀膜玻璃 散射
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 57-59
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4
• 字数: 1719字
• 语种: 中文

摘要

为解决"光污染"问题,我们采用化学气相沉积的方法及后退火工艺,制备了低镜面反射纳米硅镀膜玻璃.用拉曼谱对样品的微结构进行表征,并测量了薄膜的反射率.结果表明,退火样品由于表面氧化形成低折射率的氧化物,以及大晶粒增强了对可见光的散射,因而具有低的反射率.