拉曼光谱表征无氢类金刚石薄膜的新方法

• 作者: 崔万国 张玲 王辅明 赖起邦
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 拉曼光谱 sp3含量 G峰
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 103-105
• 分类号: TB43
• 字数: 2312字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2010.04.029

摘要

DLC薄膜的拉曼光谱表征主要依靠D峰和G峰的强度比值(ID/IG)来定性判断sp3含量,但当sp3所占百分比高于20%时,ID/IG值对sp3含量的变化不敏感,判断的误差很大.采用直流磁控溅射和多弧离子镀制备了一系列无氢DLC薄膜样品,并测量了样品的拉曼光谱和维氏硬度.通过数据分析,发现薄膜硬度和拉曼光谱中的G峰半峰宽具有很好的相关性,因而提出通过G峰半峰宽来定量判断DLC薄膜中sp3含量的拉曼光谱表征新方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王辅明	厦门大学物理系	5	30	4.0	5.0
2	张玲	厦门大学物理系	31	114	7.0	9.0
3	赖起邦	厦门大学物理系	2	15	2.0	2.0
4	崔万国	厦门大学物理系	2	14	1.0	2.0