基于模糊图像合成技术的MEMS平面微运动测试技术

• 作者: 冯亚林 李一博 栗大超 郝一龙 金翠云 靳世久
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 动态测试 模糊图像 谐振器 扫频 扫压
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 112-116
• 页数: 5页
• 分类号: TP751
• 字数: 3064字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2004.02.007

摘要

随着微电子机械系统(MEMS)研究的深入和产业化的需求,检测技术在其中的重要性越来越大.基于机器微视觉的MEMS动态测试系统,利用模糊图像合成技术对MEMS的平面微运动特性参数进行提取和分析.利用图像处理方法对MEMS谐振器做扫频和扫压测量,获得了MEMS器件的平面微运动特性,并对测量结果进行了分析和讨论.由实验结果可以看出,这种方法有较高的测量精度,测量重复性误差为100nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	栗大超	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	89	722	14.0	20.0
2	郝一龙	北京大学微电子学研究院	46	716	15.0	25.0
3	靳世久	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	211	3002	28.0	42.0
4	李一博	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	69	717	16.0	25.0
5	金翠云	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	17	189	8.0	13.0
6	冯亚林	北京大学微电子学研究院	9	105	6.0	9.0