基于MEMS技术的异平面空心金属微针

• 作者: 刘景全 沈修成 王亚军 芮岳峰 郭忠元
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微针 电镀 异平面 药物投送
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 151-154
• 页数: 4页
• 分类号: TN303
• 字数: 2277字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.02.001

摘要

MEMS微针的一个重要应用是透皮给药.文中提出了一种基于MEMS技术的异平面空心金属微针.该微针首先利用硅(100)面刻蚀技术在硅片上刻蚀出深度为330μm的倒四棱锥,然后采用电镀技术电镀出壁厚为50μm的空心金属倒四棱锥.从背面开出微流道并去除残余硅,就得到了倾斜角度为70.6°的异平面金属空心微针.最后采用ANSYS有限元仿真软件建立微针模型,验证了微针具有足够的强度.