MEMS器件中的铁电材料

• 作者: 于军 付承菊 王耘波 郭冬云
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电材料 MEMS 应用
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 25-28
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.9
• 字数: 2435字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2004.03.006

摘要

铁电材料在微电子技术、光电子技术和集成光学等多个领域中具有极为重要的应用价值.本文简要介绍了铁电材料及其在MEMS器件方面的应用情况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于军	华中科技大学电子科学与技术系	103	537	11.0	16.0
2	王耘波	华中科技大学电子科学与技术系	68	398	10.0	16.0
3	郭冬云	华中科技大学电子科学与技术系	13	163	6.0	12.0
4	付承菊	武汉理工大学材料科学与工程学院	8	77	3.0	8.0