光纤制备中的外汽相沉积工艺研究

• 作者: 查健江
• 来源期刊: 光纤与电缆及其应用技术
• 学科: 工学
• 关键词: 外汽相沉积工艺 沉积速率 光纤制备
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 生产工艺
• 页码范围: 14-19
• 页数: 6页
• 分类号: TN818
• 字数: 5264字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-1908.2004.04.005

摘要

人们对光纤生产过程中外汽相沉积(OVD)工艺的沉积机理的研究已经有好多年,但实际生产过程中,很多因素都会影响沉积速率和效率.为此我们通过试验,研究了决定沉积速率和沉积效率的主要因素,如预制棒表面温度、SiCl4流量和SiO2颗粒的温度等.