低温生长纳米ZnO薄膜的结构

• 作者: 张月兰 张波 潘孝仁 陆元成 陆慧
• 来源期刊: 华东理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米ZnO薄膜 沉积 表面形貌 晶体结构 应力
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 609-612
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 1928字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-3080.2004.05.031

摘要

采用气体放电活化反应蒸发技术(GDARE),以玻璃为衬底,在较低的温度下沉积纳米ZnO薄膜,用二次蒸镀法克服薄膜生长饱和问题、有效增加膜厚及改善薄膜质量.讨论了GDARE法低温下沉积纳米ZnO薄膜的生长过程及成膜机理.由原子力显微镜(AFM)和X-射线衍射谱(XRD)分析薄膜表面形貌和晶体结构,研究结果表明,二次蒸镀法沉积的双层纳米ZnO薄膜具有更好的结晶质量及长期稳定性,薄膜沿c轴高度取向生长,内应力较小,晶粒尺寸均匀,平均粒径约35 nm,表面粗糙度降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆慧	华东理工大学物理系	20	99	6.0	9.0
2	张月兰	华东理工大学物理系	6	35	4.0	5.0
3	潘孝仁	华东理工大学物理系	4	28	3.0	4.0
4	张波	华东理工大学物理系	9	132	5.0	9.0
5	陆元成	华东理工大学物理系	3	40	2.0	3.0