Si-B-N复合薄膜的结构及摩擦学性能研究

• 作者: 于翔 江功武 王成彪
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: Si-B-N复合薄膜 化学气相沉积 复合表面改性 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 119-122
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.44|TH117.3
• 字数: 2738字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0595.2004.02.006

摘要

利用三极射频-直流负偏压-等离子体增强化学气相沉积技术在45#钢表面制备了附着力较强的Si-B-N复合薄膜;采用X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪分析了所制备的Si-B-N复合薄膜的组成和结构,通过划痕试验和球-盘摩擦磨损试验考察了薄膜与基体的附着力及摩擦学性能.结果表明:通过合理地控制工艺参数,并对试样基体施加适当的直流负偏压,可以制得含六方氮化硼(h-BN)和立方氮化硼(c-BN)混合相的Si-B-N复合薄膜;而在Si-B-N复合薄膜表面引入沉积MoS2薄膜可以改善其摩擦学性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王成彪	中国地质大学工程技术学院	60	471	13.0	18.0
2	于翔	中国地质大学工程技术学院	15	140	8.0	11.0
3	江功武	中国地质大学工程技术学院	2	20	2.0	2.0