CrN/ZrN多层梯度薄膜的合成

• 作者: 刘峰 刘谦祥 李德军
• 来源期刊: 天津师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 多层梯度薄膜 硬度
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 45-48
• 页数: 4页
• 分类号: TG711
• 字数: 2727字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1114.2004.02.014

摘要

利用直流磁控溅射技术,应用双靶轮流反应溅射工艺,制备了CrN/ZrN多层梯度薄膜.采用XRD,AES,XPS和纳米硬度仪等测试方法,对CrN/ZrN多层梯度薄膜的微观结构和纳米硬度进行了研究.结果表明:在N2反应气体环境下通入更具活性的NH3气体所合成的薄膜结构中ZrN和CrN结晶趋向多元化共存,其纳米硬度明显提高.在0.6 mL/min(sccm) 的N2流量和0.15 mL/min的NH3流量条件下,薄膜纳米硬度达到35 Gpa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘谦祥	天津师范大学物理与电子信息学院	9	57	4.0	7.0
2	李德军	天津师范大学物理与电子信息学院	73	242	7.0	11.0
3	刘峰	天津师范大学物理与电子信息学院	2	5	2.0	2.0