含金刚石的复相过渡层及Al2O3衬底上金刚石薄膜的附着力

• 作者: 吕反修 唐伟忠 李成明 杨志威 苗晋琦 赵中琴 陈广超
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 微波等离子体CVD 复相薄膜 过渡层
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 37-40
• 页数: 4页
• 分类号: TG164
• 字数: 3094字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2004.01.010

摘要

采用微波等离子体化学气相沉积的方法,以H2和八甲基环四硅氧烷(D4)为原料,在H2(Ⅱ):H2(Ⅰ,为带动D4的载气)的流量比23:1,P=5332.88Pa,Ts=850℃左右的工艺条件下,制备了含有金刚石及一定量SiO2和SiC的复相薄膜.初步的实验结果表明,金刚石相可在该复相薄膜上继续生长,进而形成高质量的金刚石薄膜.同时,与在Al2O3衬底上直接沉积的金刚石涂层相比,采用上述复相薄膜作为过渡层可明显地提高金刚石涂层对于Al2O3陶瓷衬底的附着力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院	106	860	16.0	21.0
3	陈广超	北京科技大学材料科学与工程学院	27	235	9.0	14.0
4	苗晋琦	北京科技大学材料科学与工程学院	10	77	6.0	8.0
5	李成明	北京科技大学材料科学与工程学院	71	480	12.0	19.0
6	赵中琴	北京科技大学材料科学与工程学院	4	42	4.0	4.0
7	杨志威	北京科技大学材料科学与工程学院	3	32	3.0	3.0