滚珠丝杠螺距误差前馈补偿法提高X-Y工作台定位精度的研究

• 作者: 张建川 袭著燕 路长厚 郭涛
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: X-Y工作台 激光多普勒测量仪 螺距误差 定位精度
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 页码范围: 805-808
• 页数: 4页
• 分类号: TH133
• 字数: 3781字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2004.07.016

摘要

在详细论述了激光多普勒测量仪的原理及测量方法后,对滚珠丝杠螺距误差的情况进行了分析,通过软硬结合的方法对重复定位误差和螺距误差的补偿进行了研究,并且通过实验验证了方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	路长厚	山东大学机械工程学院	113	1027	18.0	25.0
2	郭涛	山东大学机械工程学院	9	153	5.0	9.0
3	袭著燕	山东大学机械工程学院	16	187	9.0	13.0
4	张建川	山东大学机械工程学院	8	55	4.0	7.0