X-Y精密定位平台的敏感函数逆前馈补偿控制

• 作者: 崔晶 王迪凡
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 音圈电机 精密定位平台 敏感函数 前馈补偿
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1081-1087
• 页数: 7页
• 分类号: TH703|TP273
• 字数: 3530字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152304.1081

摘要

针对音圈电机驱动的X-Y定位平台中稳态误差导致的系统定位精度较低的问题,提出了基于敏感函数逆的前馈补偿控制方法.首先,采用频域辨识方法建立了系统模型,基于终值定理推导出系统扰动和稳态误差的关系,并由此设计了敏感函数的逆模型来补偿扰动对稳态误差的影响,从而提高系统精密定位性能.最后,在搭建的音圈电机驱动X-Y定位平台上进行了不同运动行程的实验研究.实验结果表明:在行程为10μm,最大加速度为6 mm/s2的微定位运动条件下,补偿后的定位误差可由2 μm降低到0.2μm;在行程为10 mm,最大加速度为6 m/s2的宏定位运动条件下,定位误差可由2μm降低到0.4μm.实验结果验证了本方法的有效性,为后续高精密伺服系统的研制提供了重要参考和设计依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔晶	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	9	43	4.0	6.0
2	王迪凡	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	2	9	2.0	2.0