脉冲激光制备薄膜材料的烧蚀机理

• 作者: 侯思普 关丽 张端明 李智华 杨凤霞 郑克玉 钟志成
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光 烧蚀面 熔融 温度演化
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 2237-2243
• 页数: 7页
• 分类号: O4
• 字数: 5459字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.07.041

摘要

研究了脉冲激光烧蚀靶材的整个过程.从包含热源项的导热方程出发,利用适当的动态边界条件,详细研究了靶材在熔融前后的温度分布规律,并且给出了熔融后的固、液分界面的变化规律.熔融后的温度演化规律和固液相界面均以解析表达式的形式给出.还根据能量平衡原理给出烧蚀面位置随时间的变化规律.以硅靶材为例计算模拟了激光烧蚀的整个过程,与实验结果符合较好.