脉冲激光制备ZnO薄膜烧蚀过程中的温度演化

• 作者: 叶志清 胡春香 陶向阳 饶丰
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光技术 熔融 温度演化 热流方程
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 激光材料和光学元件
• 页码范围: 646-648
• 页数: 3页
• 分类号: O469
• 字数: 2343字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2007.06.006

摘要

为了研究脉冲激光烧蚀氧化锌靶材的整个过程,给出脉冲激光作用块状靶材的烧蚀模型.从包含热源项的导热方程出发,利用适当的动态边界条件,详细研究了靶材在熔融前的温度分布规律.结果表明,靶材熔融前,在固定位置,温度随时间推移而升高,且距离靶面越近,变化率越大.在同一时刻不同位置,温度随着热扩散距离增加而下降;并采用精确解与积分近似法相结合的方案,给出熔融后固液两相的温度分布与时间和位置的变化关系.液相的温度梯度随扩散距离增加而下降,在距烧蚀面0.5μm之内,温度梯度很大;在0.5μm后面的部分,温度变化就很缓慢;固相的温度变化较为复杂.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陶向阳	江西师范大学物理与通信电子学院	62	498	11.0	18.0
5	叶志清	江西师范大学物理与通信电子学院	75	448	11.0	17.0
9	胡春香	江西师范大学物理与通信电子学院	5	13	2.0	3.0
13	饶丰	江西师范大学物理与通信电子学院	9	20	2.0	4.0