脉冲激光沉积ZnO薄膜动力学过程模拟

• 作者: 吴瑜之 胡春香
• 来源期刊: 海南师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光沉积 等离子体羽辉 差分模拟 粒子速度 ZnO薄膜
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 物理学研究
• 页码范围: 153-157
• 页数: 5页
• 分类号: O469
• 字数: 2568字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-4942.2008.02.010

摘要

利用有限差分法对脉冲激光沉积(PLD)技术制备ZnO薄膜过程中等离子体在等温和绝热两个阶段的速度演化进行了模拟,并给出了其中主要粒子在空间的具体演化规律,同时对等离子体在空间膨胀的物理机制进行了深入的讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡春香	江西蓝天学院公教部数理教研室	4	0	0.0	0.0
2	吴瑜之	江西蓝天学院公教部数理教研室	6	0	0.0	0.0