脉冲激光沉积法生长的石英基ZnO薄膜特性

• 作者: 何建廷 杨淑连 王雅静 魏芹芹
• 来源期刊: 山东理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲激光沉积 氧化锌 X射线衍射 量子约束效应 禁带宽度
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 页码范围: 65-68
• 页数: 4页
• 分类号: TQ.1388
• 字数: 2529字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6197.2019.04.014

摘要

以石英为衬底,采用脉冲激光沉积法在多种衬底温度下生长ZnO薄膜.通过对石英基ZnO薄膜X射线衍射(XRD)和分光光度计的测量,分析了薄膜的多种结构和光学参数,研究了衬底温度对薄膜的结晶质量和光学性质的影响.XRD结果显示,衬底温度为500℃时得到结晶质量最佳的ZnO薄膜.分光光度计得到的透射图谱及其微分图谱表明,ZnO薄膜的禁带宽度随衬底温度的升高而减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王雅静	山东理工大学电气与电子工程学院	49	235	7.0	12.0
2	杨淑连	山东理工大学电气与电子工程学院	47	198	8.0	10.0
3	何建廷	山东理工大学电气与电子工程学院	13	57	5.0	7.0
4	魏芹芹	山东理工大学电气与电子工程学院	16	61	5.0	7.0