基于类金刚石沉积的短脉宽XeCl激光设计及脉宽分析

• 作者: 任韧 宋宙模 徐进 汪世林 王永仓 王跃龙 袁孝 金克新 陈长乐
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 XeCl激光 纳秒放电 脉冲激光沉积技术 预电离 辉光放电
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 激光技术与器件
• 页码范围: 601-605
• 页数: 5页
• 分类号: TN242
• 字数: 3031字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2004.05.011

摘要

在气体配比HCl:Xe:He=0.12%:1%:98.88%实现了大功率短脉冲XeCl准分子激光器,以纳米异质结构、微观量子阱、表面微小尺度薄膜沉积,镀制金刚石薄膜、半导体薄膜、巨磁薄膜,及外延生长及后续的光刻、激光与物质的相互作用、等离子体研究为目的,设计了高能量、短脉宽脉冲放电激励的XeCl准分子激光器新型结构,完成了脉冲波形测试.试验结果表明:激光脉宽最短13 ns,单脉冲能量450 mJ,矩形光斑大小2 cm×1 cm,束散角3 mrad,最高重复频率5 Hz.验证了激光器结构、动力学速率方程、总结出了饱和增益、脉宽规律.产生的短脉宽激光热融蚀效应小,类金钢石材料对基底形成了良好的等离子溅射羽辉.