铁电超晶格薄膜

• 作者: 刘云杰 李燕 邓宏 郝兰众
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电超晶格 y薄膜 分子束外延
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 电功能材料及其应用
• 页码范围: 1533-1536
• 页数: 4页
• 分类号: TB32
• 字数: 4141字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.z1.431

摘要

介质铁电超晶格薄膜是一类新型的薄膜材料,已逐渐开始受到重视,成为研究的热点.本文主要分析了铁电超晶格薄膜的结构特点、组分材料、介电铁电性能;介绍了其在实际中的应用以及在近几年的发展;概括了几种常用的介质铁电超晶格薄膜的生长技术及其影响因素;最后对铁电超晶格薄膜的发展和应用前景进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓宏	电子科技大学微电子与固体电子学院	72	653	14.0	22.0
2	李燕	电子科技大学微电子与固体电子学院	29	259	9.0	15.0
3	郝兰众	电子科技大学微电子与固体电子学院	7	19	3.0	4.0
4	刘云杰	电子科技大学微电子与固体电子学院	3	9	2.0	3.0