浅谈微机电系统技术

• 来源期刊: 黑龙江科技信息
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微型化 集成化
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 119
• 页数: 1页
• 分类号: TH703
• 语种: 中文

摘要

该文主要介绍微机电系统特点、发展方向、应用领域.