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铜基体上CVD金刚石厚膜的制备
铜基体上CVD金刚石厚膜的制备
作者:
姚宁
张兵临
杨仕娥
马丙现
高关胤
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
CVD
金刚石厚膜
铜基体
摘要:
用MWCVD方法在无预处理铜基体上获得了金刚石薄膜和厚膜.所得金刚石膜从基体上自动脱落,但形貌分析和Ramman分析表明,所得金刚石膜具有较好的质量.因此铜是制备金刚石厚膜的理想基体材料.
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文献信息
篇名
铜基体上CVD金刚石厚膜的制备
来源期刊
无机材料学报
学科
工学
关键词
CVD
金刚石厚膜
铜基体
年,卷(期)
2004,(4)
所属期刊栏目
简报
研究方向
页码范围
958-960
页数
3页
分类号
O484|TB43
字数
1880字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1000-324X.2004.04.044
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
姚宁
郑州大学物理工程学院
122
692
12.0
18.0
2
张兵临
郑州大学物理工程学院
95
608
12.0
18.0
3
杨仕娥
郑州大学物理工程学院
68
513
12.0
18.0
4
马丙现
郑州大学物理工程学院
19
120
6.0
10.0
5
高关胤
郑州大学物理工程学院
1
5
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1998(1)
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引证文献(1)
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研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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无机材料学报
主办单位:
中国科学院上海硅酸盐研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-324X
CN:
31-1363/TQ
开本:
16开
出版地:
上海市定西路1295号
邮发代号:
4-504
创刊时间:
1986
语种:
chi
出版文献量(篇)
4760
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8
总被引数(次)
61689
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