TDR-ZY40C型中压单晶炉的研制

• 作者: 张红勇 高利强
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶炉 结构 中压
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 所属期刊栏目: 新设备与新技术
• 页码范围: 69-72
• 页数: 4页
• 分类号: TF806
• 字数: 3202字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.12.018

摘要

介绍了TDR-ZY40C型单晶炉的设计思路及工作原理,结合拉制单晶的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张红勇		12	20	2.0	4.0
2	高利强		10	31	4.0	5.0