半导体行业中超纯水的质控

• 作者: 万明球
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: USP 超纯水 电导率 SevenMulti
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 测试与测量技术
• 页码范围: 35-36，39
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 2560字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.05.006

摘要

USP(<美国药典>)对超纯水的质量有着严格的规定,是半导体厂商良好的参考标准,梅特勒-托利多SevenMul6模块化多功能仪表,内置USP表格,完全满足USP要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万明球		2	9	1.0	2.0