先进ATHENATM选用策略与对准功能

• 作者: André Jeunink Jeroen Huijbregtse Richard van Haren 程天风
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 对准系统 多组光栅标 化学机械抛光 晶圆对位
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 专题报道(光刻技术与设备)
• 页码范围: 28-35
• 页数: 8页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 298字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.02.007

摘要

基于先进科技对准规格的减缩,对准仪量测数据的应用也变得更为重要.不同对准策略的选择所引起的结果,对全部对准预算有很重要的影响.介绍两个主要科技研发项目:先进对准配套和对准标的设计.