Er离子注入Al2O3光波导薄膜的发光特性研究

• 作者: 王兴军 王辉 陈涛 雷明凯
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜物理学 掺Er3+光波导放大器 离子注入 Al2O3 溶胶-凝胶法
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 激光应用(通信、工业、医学和生物等)
• 页码范围: 323-325
• 页数: 3页
• 分类号: TN204|O433
• 字数: 2111字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2004.z1.110

摘要

采用溶胶-凝胶和离子注入复合工艺在氧化的Sio2/Si(100)基片上制备掺Er3+:Al2O3光学薄膜.900℃烧结,掺Er3+:Al2O3薄膜的相结构是γ-Al,Er)2O3和θ-(Al,Er)2O3的混合物.室温下测量不同注入剂量的掺Er3+:Al2O3光学薄膜的光致发光谱,均获得了中心波长为1.533 pm的发光曲线.900℃烧结制备掺EPr3+:Al23光学薄膜光致发光强度随着注入剂量从0.2×1016 cm-2增加到4×l016cm-2而逐渐增加.而1200℃烧结制备掺Er3+:Al2O3光学薄膜的光致发光强度随着掺杂浓度从0.2×1016 cm-2增加到4×1016grN-2先增加后减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王辉	大连理工大学材料工程系表面工程研究室	59	395	13.0	16.0
2	陈涛	大连理工大学材料工程系表面工程研究室	22	335	11.0	18.0
3	雷明凯	大连理工大学材料工程系表面工程研究室	115	712	14.0	19.0
4	王兴军	大连理工大学材料工程系表面工程研究室	7	75	5.0	7.0