离子辅助沉积对 ZnS/MgF2滤光片光谱漂移的影响

• 作者: 张德景 顾培夫 鲁法珂
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 离子辅助沉积 ZnS/MgF2 窄带滤光片 光谱漂移 聚集密度
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 光学仪器
• 页码范围: 1511-1514
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 3405字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2004.11.025

摘要

采用霍尔源离子辅助沉积(IAD)技术制备了ZnS/MgF2多层膜窄带干涉滤光片,并与常规沉积条件下制备的样品作比较.结果发现离子辅助沉积明显减小了滤光片的光谱漂移,实测漂移小于O.5 nm,光谱稳定性得到很大提高.计算了滤光片中MgF2膜层的聚集密度,离子辅助沉积使MgF2膜的聚集密度从常规条件下的0.70提高到O.97,增幅达38%.间隔层对光谱漂移的影响最大,越远离间隔层的膜层,其影响越小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾培夫	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	141	1761	23.0	34.0
2	张德景	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	2	6	1.0	2.0
3	鲁法珂	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	3	10	2.0	3.0