沉积温度对热舟蒸发MgF2薄膜性能的影响

• 作者: 尚淑珍 赵祖欣 邵建达
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学薄膜 氟化镁 光学损耗 吸收 损伤阈值
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 396-400
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2897字
• 语种: 中文

摘要

采用热舟蒸发方法沉积了氟化镁(MgF2)材料的单层膜,沉积温度从200 ℃上升到350 ℃,间隔为50 ℃.测量了样品的透射率和反射率光谱曲线,进行了表面粗糙度的标定,并在此基础上进行了光学损耗及散射损耗的计算.同时对355 nm波长处的激光诱导损伤阈值进行了测量.结果表明:随着沉积温度的升高,光学损耗增加;在短波长范围散射损耗在光学损耗中所占比例很小,光学损耗的增加主要由吸收损耗引起;在355 nm波长处的损伤阈值变化与吸收损耗的变化趋势相关,损伤机制主要是吸收起主导作用.样品的微缺陷密度也是影响损伤阈值的一个重要因素,损伤阈值随缺陷密度的增加而降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	赵祖欣		6	37	4.0	6.0
3	尚淑珍		6	37	4.0	6.0