铀表面铝镀层热应力分布

• 作者: 李瑞文 江帆 董平 陈丕恒
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 物理学
• 关键词: 热应力分布 铝镀层 表面 磁控溅射工艺 有限元分析方法 铀 防腐蚀效果 生长应力
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 275-276
• 页数: 2页
• 分类号: O484

摘要

铀是非常活泼的金属，在大气环境中很容易发生腐蚀，通过磁控溅射方法，在铀表面镀铝可以对铀起到很好的防腐蚀效果，但经过磁控溅射以后，薄膜内会产：生应力，从而影响了铀表面铝镀层的结合强度及使用性能。一般认为，薄膜内的应力来源于两个方面：一是热应力，二是生长应力。热应力是由于薄膜与基体热膨胀系数不同经温度变化引起的，而生长应力则来自于薄膜与基体物理性质的不同，以及薄膜中的结构缺陷。对于一种确定结构的膜基体系，生长应力比较固定，而热应力却可以通过磁控溅射工艺进行一定的调整。文中采用热弹塑性有限元分析方法，对铀表面磁控溅射沉积铝镀层的热应力分布进行了研究。