用滤波器提高共焦系统纵向分辨率的实验研究

• 作者: 方志良 杨勇 林列 王湘晖
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 共焦显微术 纵向分辨率 相位型滤波器
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 420-422
• 页数: 3页
• 分类号: O439
• 字数: 2421字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2004.04.011

摘要

针对采用有限大小探测器的共焦显微系统,利用两区相位型滤波器提高系统的纵向分辨率.在实验上,采用1透射式液晶空间光调制器实现了对共焦显微系统照明光场位相的动态调制,测量了探测针孔直径分别为5 μm、10 μm和15 μm时,共焦显微系统纵向分辨率随滤波器参数的变化规律.实验结果说明,在探测器为有限大小的情况下,利用该滤波器可以使共焦显微系统的纵向分辨率提高17.8 %.另外,从实验结果还可以看出,滤波器的性能受到探测针孔尺寸的影响.