激光热冲击引起PZT压电薄膜铁电性能的变化

• 作者: 周益春 言智 郑学军
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜物理学 压电薄膜 脉冲激光 热冲击 剩余极化强度
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 210-214
• 页数: 5页
• 分类号: TN249|TB34
• 字数: 3513字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2004.02.020

摘要

应用高能量单脉冲激光作用在锆钛酸铅(PZT)压电薄膜上,研究脉冲激光的热冲击对PZT薄膜性能产生的影响.发现在激光未烧熔薄膜的能量密度下,经过激光作用后,PZT薄膜的铁电性能发生变化:在外加电压为6 V时,剩余极化强度值Pr从32.699 μC/cm2变到26.316 μC/cm2;矫顽电场保持为38.396 kV/cm不变;疲劳性能变稳定,在循环1.75×109次时Pr衰变率由44.3%变为34.7%.最后讨论分析了产生这种现象的微观机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周益春	湘潭大学材料与光电物理学院	108	552	11.0	21.0
2	郑学军	湘潭大学材料与光电物理学院	38	111	5.0	10.0
3	言智	湘潭大学材料与光电物理学院	1	12	1.0	1.0