用X射线全反射法测量U基Al膜的厚度与密度分布

• 作者: 张延志 王勤国 管卫军
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 物理学
• 关键词: 密度分布 反射法 厚度 Al膜 X射线 测量 数据处理方法 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 413
• 页数: 1页
• 分类号: O434.1

摘要

利用全反射法分析了U基铝薄膜的反射曲线，以及厚度与密度分布和基体的表面粗糙度情况，讨论了掠射角在临界角或者小于、大于临界角的反射强度情况，并且分析了薄膜的全反射的原理和数据处理方法。