X射线反射法测量α:CH薄膜的密度和厚度

• 作者: 吴卫东 唐永建 张继成
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: X射线反射法 非晶碳氢薄膜 密度 厚度
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1317-1320
• 页数: 4页
• 分类号: TN304|TG117
• 字数: 2745字
• 语种: 中文

摘要

利用低压等离子体化学气相沉积法制备厚度不同的非晶碳氢薄膜,采用X射线反射法测量了非晶碳氢薄膜的密度和厚度.实验中分别采用曲线拟合法和周期估算法计算薄膜的厚度,两种方法测得的厚度平均差别为5.5%,一致性较好.利用X射线反射谱的临界角计算所得的7个样品的密度差别较小,在8%之内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐永建	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	281	2334	24.0	31.0
2	吴卫东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	140	1087	18.0	26.0
3	张继成	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	29	254	9.0	15.0