基于SU-8胶的微针执行器的研制

• 作者: 夏善红 张博军 秦宁 赵湛 陈绍凤
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: SI-8胶 微针执行器 MEMS
• 年，卷（期）: 2004,（z3）
• 所属期刊栏目: 智能仪表与微机电系统
• 页码范围: 104-106
• 页数: 3页
• 分类号: TM5
• 字数: 1266字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2004.z3.035

摘要

利用MEMS技术设计和制作了一种微量取样执行器.执行器由微针、微通道、反应室、电极以及永磁微阵列等各部分组成,通过外部磁场可以实现双向线性地驱动.利用SU-8光刻胶为主要材料,采用多级曝光和电铸金属实现3D结构的工艺技术,研制出了微针执行器的雏形器件.针尖的尺寸为500μm×60μm× 60μm,针孔截面为20μm×20μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏善红	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	111	654	14.0	18.0
2	陈绍凤	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	27	268	10.0	15.0
3	赵湛	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	54	723	10.0	26.0
4	秦宁	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	4	12	2.0	3.0
8	张博军	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	7	29	3.0	5.0