SU-8胶光弹性性能显微测试

• 作者: 张然 李双亮 褚金奎
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 显微测量 光弹性分析 SU-8胶 应力光学系数
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 547-552
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7|O348.1
• 字数: 2172字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162403.0547

摘要

考虑获知SU-8胶的光弹性性能有利于拓展其在微纳米领域中的应用范围,本文设计了材料应力光学系数显微测量光路,完成了SU-8胶应力光学系数的测量实验.首先,基于光弹性原理设计了测量光路,推导了求解应力光学系数的计算公式;然后,根据所设计的光路搭建了应力光学系数显微测量实验装置,在SU-8胶试样光弹性条纹的单个半级数范围内进行了单向拉伸实验;最后,利用Matlab提取实验照片组中光强值信息,得到了不同拉力下透过SU-8胶试样的单色光光强值,计算求解出了SU-8胶的应力光学系数.实验结果以及测量公式计算显示,SU-8胶的应力光学系数为(3.007±0.149)× 10-11m2/N,大于光学玻璃等材料的应力光学系数,也远大于二氧化硅等MEMS领域常用材料的应力光学系数.实验结果可为以SU-8胶为材料,通过光弹性原理进行微力测量的微探针、微夹钳等的设计与制作打下基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚金奎	大连理工大学机械工程学院	119	1260	20.0	30.0
2	张然	大连理工大学机械工程学院	27	82	5.0	8.0
3	李双亮	大连理工大学机械工程学院	2	2	1.0	1.0