聚合物SU-8光刻胶超声时效实验研究

• 作者: 杜立群 王启佳 王煜 陈莉
• 来源期刊: 大连理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超声时效 SU-8光刻胶 内应力测量
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 907-911
• 分类号: TB559
• 字数: 3142字
• 语种: 中文

摘要

利用超声时效技术减小聚合物SU-8光刻胶的内应力,讨论了其机理.以基片曲率法为基础,建立了轮廓法测量SU-8胶层内应力的计算模型.实验研究了超声时效技术在减小聚合物SU-8胶层内应力方面的作用.对比分析了超声时效实验前、后SU-8胶层的内应力值.实验结果显示,在超声时效10 min时,聚合物SU-8胶内应力减小2 MPa,消除率约为23.17%.这表明,在合适的实验参数下利用超声时效技术可以有效减小聚合物SU-8胶内应力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜立群		2	8	1.0	2.0
2	王煜	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	1	8	1.0	1.0
3	王启佳	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	3	14	2.0	3.0
4	陈莉		1	8	1.0	1.0